@InProceedings{SilvaUedaRossReut:2006:ImIôIm,
               author = "Silva, Graziela da and Ueda, M{\'a}rio and Rossi, Jos{\'e} 
                         Oswaldo and Reuter, H.",
          affiliation = "ITA and Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais, 
                         Laborat{\'o}rio Associado de Plasma (INPE.LAP) and Instituto 
                         Nacional de Pesquisas Espaciais, Laborat{\'o}rio Associado de 
                         Plasma (INPE.LAP)",
                title = "Implanta{\c{c}}{\~a}o i{\^o}nica por imers{\~a}o em plasma de 
                         nitrog{\^e}nio usando baixa energia",
            booktitle = "Anais...",
                 year = "2006",
         organization = "Encontro e Exposi{\c{c}}{\~a}o Brasileira de Tratamento de 
                         Superf{\'{\i}}cie.",
  conference-location = "S{\~a}o Paulo, SP",
      conference-year = "2006-05-09",
             language = "pt",
        urlaccessdate = "11 maio 2024"
}